Titel: Planar integriertes Mikromassenspektrometer : Simulation, Ansteuerung und Charakterisierung
Sonstige Titel: Planar integrated micro mass spectrometer : simulation, control and characterization
Sprache: Deutsch
Autor/Autorin: Hauschild, Jan-Peter
Schlagwörter: Mikroplasma;Micro mass spectrometer;Micro plasma;Capacitively coupled plasma;Ion optics;MEMS
Erscheinungsdatum: 2009
Zusammenfassung (deutsch): Das Konzept, die Entwicklung und die Charakterisierung eines planar integrierten Mikromassenspektrometers (PIMMS), gefertigt in Mikrosystemtechnik, wird vorgestellt. Schwerpunkte sind die Berechnung und Simulation von Ionentrajektorien, die Elektronenerzeugung durch ein Mikroplasma und die Ansteuerelektronik. Durch die Messung von Massenspektren wird erstmals der experimentelle Funktionsnachweis des PIMMS erbracht.
Zusammenfassung (englisch): The concept, development and characterization of the planar integrated micro mass spectrometer (PIMMS), fabricated in microsystems technology, is presented. Key topics are the calculation and simulation of ion trajectories, the generation of electrons by a micro plasma and the control electronics. The measurement of mass spectra with the PIMMS shows the experimental proof of concept.
URI: http://tubdok.tub.tuhh.de/handle/11420/764
URN: urn:nbn:de:gbv:830-tubdok-8487
DOI: 10.15480/882.762
ISBN: 9783868533323
Institut: Mikrosystemtechnik E-7
Microsystem Technology E-7
Studienbereich: Elektrotechnik und Informationstechnik
Dokumenttyp: Dissertation
Hauptberichter: Müller, Jörg
Gradverleihende Einrichtung: Technische Universität Hamburg
Enthalten in den Sammlungen:tub.dok

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