Titel: Design und Herstellung eines planar integrierten Mikromassenspektrometers mit Micro-Channel-Plate-Detektor
Sonstige Titel: Design and fabrication of a planar integrated micro-mass- spectrometer with a micro-channel-plate detector
Sprache: Deutsch
Autor/Autorin: Wapelhorst, Eric
Schlagwörter: SIS, MCP, Mikrokanalplatte,;Micro Channel Plate;Mass Spectrometrie;MEMS;Micro System Technology
Erscheinungsdatum: 2010
Zusammenfassung (deutsch): Die genannte Arbeit beschreibt die Entwicklung eines Mikromassenspektrometers in Mikrosystemtechnik. Es werden alle Komponenten des Massenspektrometers planar auf einem 7 x 10 mm² großen Chip aus Glas und Silizium gefertigt. Diese Arbeit befasst sich im Schwerpunkt mit der Prozessentwicklung der für die Herstellung notwendigen Prozesse sowie mit dem Einsatz einer Mico-Channel-Plate (MCP) in einer selbstjustierenden Halterung, die aus Silizium geätzt wird.
Zusammenfassung (englisch): This work describes the development of a micro-mass-spectrometer with the methods of microsystem technologies. All components of the mass spectrometer are combined in a planar design of a 7 x 10 mm² chip fabricated out of glass and silicon. This work focuses on the development of the MEMS fabrication and on the operation of a micro-channel-plate (MCP) in a self-aligning fixture structured out of silicon.
URI: http://tubdok.tub.tuhh.de/handle/11420/784
URN: urn:nbn:de:gbv:830-tubdok-8688
DOI: 10.15480/882.782
ISBN: 978-3-86853-407-8
Institut: Mikrosystemtechnik E-7
Microsystem Technology E-7
Studienbereich: Elektrotechnik und Informationstechnik
Dokumenttyp: Dissertation
Hauptberichter: Müller, Jörg
Gradverleihende Einrichtung: Technische Universität Hamburg
Enthalten in den Sammlungen:tub.dok

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